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公司簡(jiǎn)介

創(chuàng)新、高效、和諧、務(wù)實(shí)

深圳市星海威真空設(shè)備有限公司成立于2022年，是上市公司深圳新益昌科技股份有限公司的重要子公司。依托新益昌集團(tuán)的強(qiáng)大資源與技術(shù)支持，進(jìn)一步專(zhuān)注于新能源、新材料、光電、半導(dǎo)體芯片等高新技術(shù)領(lǐng)域的核心真空裝備的研發(fā)和制造。
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產(chǎn)品中心

卷繞鍍膜設(shè)備
卷繞鍍膜設(shè)備
卷繞鍍膜設(shè)備......
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鈣鈦礦設(shè)備
鈣鈦礦設(shè)備
鈣鈦礦真空鍍膜設(shè)備是鈣鈦礦太陽(yáng)能電池制備中的關(guān)鍵設(shè)備之一。通過(guò)鍍膜技術(shù)，可以制備出高質(zhì)量的鈣鈦礦層、電子傳輸層、空穴傳輸層等關(guān)鍵結(jié)構(gòu)，提高電池的光電轉(zhuǎn)換效率和穩(wěn)定性。 除了鈣鈦礦太陽(yáng)能電池外，真空鍍膜設(shè)備還廣泛應(yīng)用于OLED和OPV等其他類(lèi)型的太陽(yáng)能電池制備中，為這些新興的光伏技術(shù)提供高質(zhì)量的薄膜材料。
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第三代半導(dǎo)體外延設(shè)備
第三代半導(dǎo)體外延設(shè)備
外延設(shè)單腔/多片（最大3×8Inch）+潔凈真空機(jī)械手搬運(yùn)， ?各盤(pán)獨(dú)立控溫，控溫精度高； ?水平層流布?xì)?分子泵排氣，控制氣體分布均勻； ?工藝進(jìn)程實(shí)時(shí)監(jiān)控，精準(zhǔn)控制參數(shù)；
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光學(xué)鍍膜機(jī)
光學(xué)鍍膜機(jī)
精密光學(xué)電子槍蒸鍍系統(tǒng)專(zhuān)門(mén)為精密光學(xué)薄膜器件鍍膜而設(shè)計(jì)，各系統(tǒng)設(shè)計(jì)和整體結(jié)構(gòu)滿(mǎn)足光學(xué)薄膜生產(chǎn)工藝要求
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消費(fèi)電子行業(yè)

消費(fèi)電子行業(yè)

光學(xué)濺射系統(tǒng)
卷繞鍍膜機(jī)
蒸鍍機(jī)等
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鋰電池行業(yè)

鋰電池行業(yè)

卷繞鍍膜機(jī)
真空干燥機(jī)
蒸鍍機(jī)等
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光伏行業(yè)

光伏行業(yè)

連續(xù)鍍膜線(xiàn)
PVD
PECVD
LPCVD
ALD等
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半導(dǎo)體行業(yè)

半導(dǎo)體行業(yè)

PVD
PECVD
MOCVD
ALD
MBE等
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