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蒸發(fā)鍍膜工藝解析:膜層沉積原理與薄膜生長特性

發(fā)布時間:2025-01-20 作者:星海威
蒸發(fā)鍍膜,作為一種廣泛應用的物理氣相沉積(PVD)技術,其核心在于通過加熱蒸發(fā)源使固體材料升華或蒸發(fā)成蒸氣,進而在基片表面凝結形成薄膜。這一過程不僅依賴于復雜的物理機制,還涉及多個關鍵因素,共同影響著薄膜的質量和性能。
 
蒸發(fā)鍍膜的基本原理
蒸發(fā)鍍膜的基本原理包括三個核心步驟:加熱源和蒸發(fā)材料、蒸氣傳輸、以及蒸氣在基片表面的凝結。
加熱源和蒸發(fā)材料
蒸發(fā)鍍膜的首要步驟是將蒸發(fā)材料加熱至足夠高的溫度,使其轉變?yōu)闅鈶B(tài)。這一過程中,常用的加熱源有電阻加熱和電子束加熱。電阻加熱利用電流通過高電阻材料(如鎢絲或鉬舟)產生的焦耳熱來加熱蒸發(fā)材料,而電子束加熱則使用電子槍產生的高能電子束轟擊蒸發(fā)材料,將其加熱至蒸發(fā)溫度。電子束加熱效率高,適用于高熔點材料的蒸發(fā)。
蒸氣傳輸
在高真空環(huán)境中,蒸發(fā)材料升華或蒸發(fā)成蒸氣。蒸氣分子通過真空室直線運動到達基片表面。由于真空環(huán)境中氣體分子密度極低,蒸氣分子可以以較高的自由程傳輸,減少了氣體分子的散射和碰撞,從而確保了蒸氣能夠直接、高效地傳輸至基片。
蒸氣在基片表面的凝結
當蒸氣分子到達基片表面時,由于基片溫度較低,蒸氣分子凝結成固態(tài)薄膜,完成鍍膜過程。在基片表面,蒸氣分子經歷徙動、成核、島狀生長以及連續(xù)薄膜形成等階段,最終形成結構致密的薄膜。

薄膜的生長過程
薄膜的生長是一個復雜而有序的過程,主要包括以下幾個階段:
1.徙動與成核
蒸發(fā)原子或分子被吸附在基片表面后,它們會在基片表面移動(稱為徙動),并與其他同類原子或分子相遇而集結,形成最初的“核”。
2.島狀生長
隨著更多原子或分子的加入,這些核逐漸生長成為較大的粒子,稱為“島”。這些島在基片表面不斷長大,并發(fā)生島的結合,形成通道網絡結構,也稱迷津結構。
3.連續(xù)薄膜形成
繼續(xù)蒸積加入原子或分子,島不斷長大并發(fā)生結合,最終填補迷津通道間的空洞,形成連續(xù)薄膜。如果還繼續(xù)蒸積,將在連續(xù)膜的基礎上重復上述過程,使薄膜不斷地增加厚度。

影響薄膜質量和性能的關鍵因素
蒸發(fā)鍍膜過程中,多個因素共同影響著薄膜的質量和性能,包括:
1.蒸發(fā)率和真空度
蒸發(fā)率決定了薄膜的生長速度,而真空度則影響著蒸氣分子的傳輸效率和薄膜的純度。高真空環(huán)境能夠減少氣體分子對蒸氣傳輸?shù)母蓴_,提高薄膜質量。
2.基片溫度和加熱方式
基片溫度影響著蒸氣分子的凝結速率和薄膜的附著力。不同的加熱方式(如電阻加熱、電子束加熱)對蒸發(fā)均勻性有影響,進而影響薄膜的均勻性。
3.蒸發(fā)材料的性質
蒸發(fā)材料的熔點、蒸氣壓等物理性質直接影響其蒸發(fā)速率和薄膜的生長機理。
4.基片表面狀態(tài)
基片表面的平整度、清潔度和活性等都會影響蒸氣分子的吸附和凝結,進而影響薄膜的質量和性能。
 
設備應用


光學鍍膜機

星海威光學鍍膜機配備270°E型雙電子槍蒸發(fā)源。雙電子槍設計能夠產生高強度的電子束,這些電子束在蒸發(fā)源內高效地加熱并蒸發(fā)材料,使得鍍膜過程更加迅速和高效。電子束的精確控制能有效提高鍍膜的質量與效率。
同時,設備還配備了IAD離子輔助成膜技術。這一技術通過引入離子束對鍍膜表面進行轟擊,有效提高了光學膜層的特性,如硬度、耐磨性和抗腐蝕性。同時,離子輔助成膜還能顯著改善基片表面的活性,增強膜層與基片之間的附著力,使得鍍膜更加牢固和持久。
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