減反射膜,又稱為增透膜,是一種廣泛應(yīng)用于光學(xué)領(lǐng)域的重要薄膜。它的主要功能是通過減少或消除透鏡、棱鏡、平面鏡等光學(xué)表面的反射光,來增加這些元件的透光量,并減少或消除系統(tǒng)的雜散光。減反射膜以其廣泛的應(yīng)用范圍和顯著的效果,成為光學(xué)薄膜技術(shù)中的重要研究課題。
減反射膜的工作原理基于光的波動性和干涉現(xiàn)象。當(dāng)光線通過鏡片或光學(xué)元件時,不僅會產(chǎn)生折射,還會產(chǎn)生反射。這種反射光不僅會降低透光量,還會產(chǎn)生雜散光,影響系統(tǒng)的性能。減反射膜通過在光學(xué)元件表面鍍上一層或多層薄膜,使得這些薄膜產(chǎn)生的反射光與元件表面的反射光發(fā)生干涉,從而抵消反射光,提高透光量。
減反射膜的應(yīng)用范圍非常廣泛,包括日常生活、工業(yè)、天文學(xué)、軍事學(xué)、電子等領(lǐng)域。在太陽能電池中,減反射膜的應(yīng)用尤為重要。太陽能電池發(fā)電原理主要利用半導(dǎo)體材料的光電效應(yīng),而硅材料的折射率很大,導(dǎo)致照射到硅表面的光不能充分被吸收,而是有很大一部分被反射掉。通過在電池上鍍一層或多層折射率和厚度與電池匹配的減反射膜,可以顯著提高電池的轉(zhuǎn)化效率。
隨著電子工業(yè)和計算機的發(fā)展,顯示器防眩防靜電膜和電腦視保屏成為減反射膜新的應(yīng)用領(lǐng)域。這些應(yīng)用不僅能夠有效提高電池的轉(zhuǎn)化效率,還能改善基體的力學(xué)性能、電學(xué)性能、光學(xué)性能及其他物理化學(xué)性能。
光學(xué)鍍膜設(shè)備
1.真空指標:極限真空:5.0E-5Pa(潔凈空載、有護板、無基板情況下)
2.抽空時間:大氣至3.0E-3Pas15min
3.真空壓升率:≦0.5Pa/h(潔凈空載、抽空至極限真空后開始測試)
4.光學(xué)實時監(jiān)控:先進的光學(xué)監(jiān)控系統(tǒng),通過安裝在腔內(nèi)的監(jiān)控組件,實時監(jiān)控基片的厚度并反饋回系統(tǒng),通過饋入反饋信息控制成膜系統(tǒng)達到實時監(jiān)控修正膜厚的目的
5.成膜系統(tǒng):8靶位磁控濺射,CRR鍍膜工藝后期氧化,AF蒸發(fā)系統(tǒng),配備擋板。